品牌大意：Moduteck是你的控制气体压力的合作伙伴。拥有超过20年的经验，他们能够使气体压力控制取决于热量需求，调整压力调节器对许多应用。同时他们的名字被许多制造商(丙烷)燃气用具闻名。Modutek在湿式工作台和半导体湿法工艺设备的设计和生产方面拥有40年的成功经验，将经验与从内部开发中获得的专业知识相结合。这种组合使公司能够提供具有出色可靠性和低总拥有成本的高质量产品。Modutek是客户的一站式目的地，从设计批准到安装到最终验收，提供满足客户需求的标准和定制解决方案。小编现在就来分享给大家《MODUTECK,美国MODUTECK压力调节器,MODUTECK高级湿处理设备》的产品内容，大家赶紧来学习一下吧。

一、美国MODUTECK公司简介
Modutek Corporation最初成立于1980年，开始为快速发展的半导体行业制造湿法工艺设备组件。他们的专长包括高温石英加热浴、低温过滤系统、氮化物蚀刻浴和冲洗系统。他们最初的市场既向最终用户销售，也向OEM的湿式工作台加工站提供支持。在90年代初期，与半导体行业相关的环境问题成为人们关注的问题。为了帮助支持这个不断增长的市场，Modutek收购了Shannon Engineering并将名称更改为Pollution Control Laboratories(PCL)。新的环保集团作为Modutek的子公司运营，生产空气洗涤器、酸中和系统和化学品输送系统。到90年代末，Modutek放弃了子公司。从那时起，这些环境系统就以Modutek品牌制造。

随着湿法工艺设备的新技术进步，Modutek于2002年收购了Sysmax Inc.，这为他们提供了自动化灵活性、真空蚀刻系统(VES)和旋转工艺系统(SPS)。这两个系统都是业界独有的，因为VES在真空下蚀刻铝，而SPS旋转两个晶圆载体并在蚀刻和冲洗之间转移它们，占用空间非常小。Sysmax最初作为Modutek的子公司运营了两年。现在客户可以购买Modutek公司名下的所有设备。多年来，半导体湿法工艺设备制造商和整个科技行业经受住了许多业务低迷的考验。自2000年以来，他们已经看到他们的许多OEM湿法加工台制造商离开了这个行业。这为Modutek提供了绝佳的扩张机会。凭借他们现在的完整背景，他们已经能够将自己定位为交钥匙湿式工作台制造业务。

二、美国MODUTECK部分产品介绍
1、美国MODUTECK旋转晶圆蚀刻系统特点
①Model-SPS通过在工艺循环期间旋转晶圆舟并从化学工艺浴快速转移到淬火槽来产生一致的结果。
②带编码器的闭环电机控制提供精确的旋转搅拌。
③基于微处理器的触摸屏系统提供可靠和精确的过程控制。所有操作员控件都易于操作和访问。
④最多可以通过触摸屏对5个过程“配方”进行编程。该屏幕在单个屏幕上显示“配方”和过程信息的摘要，以便于参考。
⑤高吞吐量。双密封结构。
⑥N2压力丢失时的“故障保护”功能。
⑦精确控制浴温。两个具有过温保护的液位传感器。
⑧与腐蚀性液体接触的所有部件均由惰性塑料制成或密封以防止直接接触。

2、美国MODUTECK真空金属蚀刻机
Modutek的真空金属蚀刻机Model-VES是一款全自动批处理处理器，专为半导体晶圆上铝层的精确湿化学蚀刻而设计。晶圆在真空下被蚀刻，因此氢气泡（一种导致“雪花”和“桥接”的蚀刻反应）立即从晶圆表面去除并通过抽真空泵排出。该装置最多可处理两(2)个150MM晶圆盒或一(1)个200MM晶圆盒。

3、美国MODUTECK手动式工作台
①用于酸碱工艺的白色聚丙烯结构
②用于溶剂应用的不锈钢结构
③可提供任何尺寸和长度以满足您的要求
④根据NFPA 70和79接线的所有站
⑤带蘑菇按钮和所有安全联锁装置的紧急断电(EPO)
⑥所有带有1”唇形排气口的工艺罐
⑦N2头壳吹扫
⑧与EPO互锁的光螺旋
⑨PVC安全防护罩
⑩Teflon N2喷枪和去离子水手喷
⑪连续流动去离子水歧管
⑫脚轮和腿矫直机
⑬所有零件保修一年
⑭2份纸质手册和一套完整的无纸化

4、美国MODUTECK温控循环器RCe系列产品系统规格
①加热容量：标准-1500W(可根据要求提供其他尺寸)
②冷却能力：标准-1/4hp(可根据要求提供其他尺寸)
③可选配塑料的不锈钢水箱
④精度：0.2ºC–取决于控制器
⑤水库填充：装置顶部
⑥尺寸：20.5英寸(长)x 25英寸(宽)x 15.25英寸(高)

5、美国MODUTECK快速转储冲洗器的特点和优点
①快速倾倒顶部喷雾
②360度溢流堰
③轮廓容器设计
④大型机加工翻斗门
⑤带有低雾化喷嘴的双头顶喷雾歧管
⑥促进层流，同时最大限度地减少颗粒污染
⑦减少去离子水的消耗
⑧加快转储时间并消除颗粒截留
⑨消除过度喷涂条件

三、美国MODUTECK主要产品和型号
1、美国MODUTECK主要产品
①美国MODUTECK快速转储冲洗器
②美国MODUTECK高级湿处理设备
③美国MODUTECK湿基和化学站
④美国MODUTECK硅蚀刻组件
⑤美国MODUTECK压力调节器

2、美国MODUTECK产品型号
①美国MODUTECK温控循环器RCe系列产品系统
②美国MODUTECK Moduteck压力调节器型号：MS 20、MS 40、MS 60
③美国MODUTECK DR SERIES快速卸料冲洗器
④美国MODUTECK温控循环器RCe系列

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