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1、美国MKS控制阀产品介绍
上游流量控制阀是比例控制阀，设计用于精确控制过程上游的气体流量。248D控制阀是一种改进的电磁阀，当提供控制电流时将调节气体流量。当与MKS控制器和适当的流量传感器一起使用时，248D阀门可调节气体流量，同时保持准确和精确的压力或流量。148J全金属控制阀可最大程度地减少颗粒产生并减少可能导致设备故障和产量下降的残留污染物的释气。为了避免污染和腐蚀，使用了保证外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金属密封件。148高温阀可在150°C的过程温度下运行。

2、美国MKS控制阀产品特征
与其他高流量控制阀相比，MKS 248D阀门提供更好的响应时间。这可以通过使用“平衡力”设计来自动抵消阀门内的压力引起的不平衡。弹性体密封的154阀门设计用于0.2至200 slm的流量。无需特殊工具即可轻松调节或更换248D阀门的孔口。可能需要进行调整以消除由于正常运行磨损导致的阀门泄漏。当磨损过度或改变阀门的流量范围时需要更换。无需特殊工具即可轻松调整或更换，调节气体流量，同时保持精确的压力或流量。

3、美国MKS控制阀产品优势
随着增加的电流施加到螺线管上，连接到电枢的阀座被抬离可调孔。两个螺旋弹簧使阀体内的电枢居中并抵抗磁性提升力。这些弹簧最大限度地减少摩擦和滞后，产品特点是控制性能不佳的主要原因。通过1249控制阀驱动器提供操作电磁阀所需的驱动信号，248D阀可用于压力或流量控制。
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4、美国MKS控制阀产品技术数据
①类型：148J全金属流量控制阀
②满量程：流量范围10-30,000立方厘米
③最小可控流量：小于2%满量程
④闭合电导泄漏：小于1%满量程（15 psid到atm）
⑤暴露材料：316 SS、镍、Elgiloy、KM45、铁氟龙
⑥密封材料：金属
⑦配件类型：4 VCR®公头
⑧工作温度：15至50°C

5、美国MKS控制阀产品功能
①316 SS、镍、Elgiloy、KM45、铁氟龙
②10至30,000 sccm满量程流量范围
③4 VCR®外螺纹接头
④可烘烤至150°C

6、美国MKS控制阀产品部分型号
①美国MKS控制阀0248D-00010RK
②美国MKS控制阀0248D-00010RV
③美国MKS控制阀0248D-00010SV
④美国MKS控制阀0248D-00050RV
⑤美国MKS控制阀0248D-00050SV
⑥美国MKS控制阀0248D-00100RK
⑦美国MKS控制阀0248D-00100RV
⑧美国MKS控制阀0248D-00100SN
⑨美国MKS控制阀0248D-00100SV
⑩美国MKS控制阀0248D-00500RV
⑪美国MKS控制阀0248D-00500SV
⑫美国MKS控制阀0248D-01000RV
⑬美国MKS控制阀0248D-01000SV
⑭美国MKS控制阀0248D-10000RV

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